根據加工方法的機理和特點，精密加工可分為刀具切削加工、磨料加工、特種加工和復合加工四大類。

　　隨著加工技術的發展，出現了許多新的加工機理，因此在精密加工，特別是在微細加工中．根據零件成形機理和特點。分為去除加工、結合加工和變形加工三大類。去除加工又稱為分離加工，是利用力、熱、電、光等加工方法從工件去除一部分材料，如切削、磨削、電加工等。結合加工是利用理化方法在工件表面上附著(沉積)、注入(滲入)、焊接一層不同材料，如電鍍、氣相沉積、氧化、滲碳、粘接、焊接等。變形加工是利用力、熱、分子運動等手段使工件產生變形，改變其尺寸、形狀和性能，如鑄造、鍛壓等。可見加工的概念已突破傳統的去除加工手段，具有堆積、生長、變形等特色，同時強調了表面處理，形成了表面加工技術。